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真空系统采用二级泵，即K300油扩散泵与2X70机械泵，机械泵上设有电磁放气阀避免停电后返油真空机组上设有放气阀及充气阀中频电源可选择KGPS可控硅或IGBT集成电源全数字电路等，电气系统设有过流过压返馈及保护。

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